半導體設備應用

在半導體設備領域，騰景科技實現了精密棱鏡模組的批量生產及紫外激光勻化器小批量生產；基于客戶的定制化需求，將光學元件裝配、集成為可實現特定光學性能的光學模組，主要應用于半導體設備光學系統(tǒng)。

精密光學系統(tǒng)是半導體設備的重要組成，覆蓋半導體制造全流程，對于制造工藝以及良率控制有重大影響。我國正加速半導體設備國產替代進程，相關領域技術、產品的研究開發(fā)及量產將為精密光學市場帶來更多的業(yè)務發(fā)展機會。