中文English
中文English

微納加工技術(shù)

微納加工技術(shù)

騰景科技已構(gòu)建覆蓋 “設(shè)計 - 制造 - 精加 - 測試” 全鏈條的微納光學(xué)元件加工技術(shù),核心能力聚焦衍射光學(xué)領(lǐng)域,具體包含:

 

全方位衍射光學(xué)技術(shù)能力

已構(gòu)建從底層設(shè)計到終端加工的完整技術(shù)矩陣,具備復(fù)雜 DOE(衍射光學(xué)元件)定制化設(shè)計能力,可針對單色分束、光譜儀器適配、色散補償、CGH(計算全息)球差補償、高能激光合束等場景需求,開發(fā)高精準度衍射光學(xué)解決方案;

核心制造工藝:

全息光刻:支持 40×10mm 孔徑規(guī)格,光柵周期覆蓋 0.1-3000 線對 /mm,可滿足高精度光柵批量制造需求;

激光直寫:聚焦 DOE 精細化制作,滿足微小陣列、復(fù)雜相位調(diào)制等高精度場景需求;

干法刻蝕:可實現(xiàn)介質(zhì)、金屬材質(zhì)的高精度刻蝕,保障微納衍射元件的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性與光學(xué)性能;

納米壓?。撼墒鞈?yīng)用于光柵、光波導(dǎo)、偏振片等產(chǎn)品制造,適配 AR 近眼顯示、消費類光學(xué)等領(lǐng)域的小型化、集成化需求;

多材質(zhì)兼容能力:

可在多種介質(zhì)氧化物、硅、熔石英及聚合物等基材上完成上述工藝加工,靈活匹配不同場景對基材的特殊要求(如高能激光場景對基材耐高溫、高損傷閾值的需求)。

 

衍射光學(xué)核心產(chǎn)品及應(yīng)用

體布拉格光柵(VBG):基于自有全鏈條微納加工技術(shù),已實現(xiàn)批量生產(chǎn),作為光纖激光、光通信領(lǐng)域的關(guān)鍵組件,可應(yīng)用于激光鎖模與窄帶濾波、高功率合束、脈沖整形等場景;

WSS 光柵:針對光通信領(lǐng)域波長選擇開關(guān)(WSS)模塊需求開發(fā),可提供定制化樣品,支撐光通信網(wǎng)絡(luò)可重構(gòu)光分插復(fù)用(ROADM)節(jié)點建設(shè),提升節(jié)點光信號處理效率,助力高速光通信系統(tǒng)向更大帶寬、更高靈活性演進;

Diffuser/DOE:可提供定制化樣品,廣泛應(yīng)用于激光勻化、光束整形、3D 傳感等場景。